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国产FIB在半导体中的应用

FIB是半导体生产研究及测试的一个必不可少的设备,对于半导体的微观结构可以做精准的定位切割加工,观测内部微观结构,失效点位等。还可以为TEM拍摄制备超薄样品,原位样品等。

79 2025-07-02
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